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用于納米尺度研究的重要掃描電子顯微鏡

Inspect 系列掃描電子顯微鏡 (SEM)采用先進的樣品室真空技術 以及 FEI 的世界***流電子光學和樣品生產(chǎn)量 技術。 只要檢驗、表征、工藝控制和 失效分析至關重要，則 Inspect S50 和 Inspect F50 型顯微鏡的高分辨率成像必不可少。 直觀的用戶界面和 軟件、直接通過工具欄即可訪問的為記錄和存儲圖像所需的所有功能 非常適合多用戶 環(huán)境，同時全方位地操作可應用各種樣品 桿的樣品臺給儀器帶來了額外的使用價值和靈活性，滿足對不同樣品大小和應用的需求。

• 下載 Inspect S50 SEM 數(shù)據(jù)表
  

• 下載 Inspect F50 SEM 數(shù)據(jù)表

 易用且直觀的軟件可確保初學者也能進行高效操作
? 輕松表征導電和絕緣樣品（S50 型）
? 確保使用穩(wěn)定的高電流 FEG （***高 200 nA）進行快速、準確的 EDS 和 EBSD 分析（F50 型）
? 使樣品制備數(shù)量降至***低： 低真空可實現(xiàn)絕緣樣品的非荷電成像和分析（S50 型）
? 大幅減少更改加速電壓 (kV) 時對鏡筒的調(diào)整。 所有調(diào)整均會依據(jù)用戶選擇的加速電壓及/或照射點設置自動執(zhí)行（F50 型）
? 確保在高真空和低真空條件下進行準確的導電和絕緣樣品 EDS 和 EBSD 分析， 使用“經(jīng)由透鏡”專利抽氣技術創(chuàng)造高真空和低真空環(huán)境（S50 型）
? 利用可選射束減速模式獲取導電樣品的表面和成分信息（F50 型）