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產(chǎn)品特點：
SIS模式——***適合高起伏樣品，減少探針磨損
測定更準(zhǔn)確——閉環(huán)掃描器
操作更簡單——測定導(dǎo)航功能
分析更方便——多點自動測定，自動解析功能

產(chǎn)品介紹:
1.可輕松的完成以往難以測定的高側(cè)面比深槽的樣品的測定
        搭載本公司獨自開發(fā)SIS模式、可以實現(xiàn)對以前很難測定的，開口很小的(50nm以下)樣品和測面比高的樣品等深槽和狹小槽的測定。如運用SIS模式和納米碳管探針，其威力更是倍增。
        閉環(huán)掃描器，徹底消除由滯后及蠕變現(xiàn)象造成的成像失真現(xiàn)象、大大提高了微區(qū)測量·微區(qū)加工的精度。做為標(biāo)準(zhǔn)配置，L-trace搭載了這種環(huán)狀掃描器。做為選項配置，閉環(huán)掃描器也可用于其它的機(jī)種。
2.搭載測定導(dǎo)向功能，大大提高了操作的簡便性
        搭載探針自動切換功能，降低由于誤操作而引起的探針損壞機(jī)率，提高操作效率。
        精工納米電子科技公司獨自開發(fā)的操作導(dǎo)向系統(tǒng)，從設(shè)備準(zhǔn)備到數(shù)據(jù)的保存印刷，準(zhǔn)確地指導(dǎo)操作者完成各項操作。即使第***次上機(jī)操作，也可以輕松得進(jìn)行測定。
3.豐富的自動測定功能
        依據(jù)菜單測定功能，可以實現(xiàn)掃描范圍內(nèi)的多點自動測定。
        常規(guī)的測定、重復(fù)的測定條件、繁瑣的測定等，從顏色的調(diào)整到繪圖的處理、解析、印刷都可簡單得自動處理。
        優(yōu)化的解析系統(tǒng)軟件，特別是對要求高速多功能同時測定解析的畫像，搭載了新的重疊解析功能和表示設(shè)定功能、使多彩的功能性及簡易操作性得以完美的結(jié)合。