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FMA6510ST_FMA6518ST_FMA6520ST_FMA6523ST_FMA6524ST質量流量控制器OMEGA

數字和模擬模式同時工作

可編程流量配置

RS485標準，***多256個單元的多點功能

存儲多達10種氣體的校準數據

累加器指示總氣體量

高、低氣體流量報警限值

***多256種氣體的轉換系數

***佳控制響應的自動調諧功能

自我診斷測試

微處理器驅動的數字流量控制器允許用戶通過RS485接口（可選RS232）用計算機編程、記錄和分析各種氣體的流量。控制器可編程用于各種控制功能，包括流量設定點、積算器、停止積算器、讀取積算器、從預設流量開始的積算器、在預設總量停止、自動歸零等。

FMA6510ST_FMA6518ST_FMA6520ST_FMA6523ST_FMA6524ST質量流量控制器OMEGA

流量警報

高、低氣體流量報警限值使用數字接口編程。報警狀態通過數字接口報告，或者可以激活觸點閉合輸出。

可編程流程

Omega軟件支持可編程流模式，允許執行最多10個步驟的自定義編程。各種流量配置包括斜坡、線性化增加和減少模式。

自動調諧

自動調諧功能允許FMA6500在實際工藝條件下自動優化氣體的控制響應。在自動調整過程中，儀器調整PID增益以獲得最佳階躍響應，并確定關鍵控制閥特性（僅適用于最大流量小于80 l/min的裝置）。

觸點閉合

提供兩組干觸點繼電器輸出，以啟動用戶提供的設備。這些可通過數字接口進行編程，以便在發生指定事件時（例如，當超過低或高流量報警限值或當累加器達到指定值時），繼電器可以進行切換。

閥超控

通過模擬或數字接口強制控制閥完全打開（凈化）或完全關閉。

自我診斷

每當首次通電時，FMA6500都會進行一系列自診斷測試，以確保其處于最佳工作狀態。

工程單位

流量設定值、測量的氣體流量和相關的累加器數據

FMA6510ST_FMA6518ST_FMA6520ST_FMA6523ST_FMA6524ST質量流量控制器OMEGA

接口

數字接口通過RS485（可選RS232）操作，并提供對適用內部數據的訪問，包括流量設定點、實際流量、零點調整和線性化表調整。模擬接口提供0至5 Vdc、0至10 Vdc和4至20 mA輸入和輸出。

自動歸零

當流量設定值低于滿刻度的2%時，FMA6500自動將傳感器零點偏移歸零。為了適應這***特點，在這種情況下控制閥必須完全關閉。規定通過數字命令禁用、強制或存儲當前自動歸零。

累加器

FMA6500的固件提供了記錄總氣體量的功能。氣體總質量是通過對實際氣體流量與時間進行積分來計算的。數字接口命令用于：將積算器設置為零；開始/停止積算流量；讀取積算器；以預設流量啟動積算器；以預設總量停止流量。

多氣體校準

FMA6500能夠存儲多達10種氣體的主要校準數據。此功能允許對同***個FM6500ST進行多氣體校準，同時保持每種氣體的額定精度。