規(guī)格,參數(shù):
系列
Pico系列
控制系統(tǒng)
半自動型
PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE)
PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)
體積
4~15L
真空腔室
圓形不銹鋼件,配有蓋子
(大約Φ 150 mm, 長 320 mm 或者長 600 mm)或者
矩形不銹鋼件,配有鉸鏈的門
(約寬 160 mm x 高 160 mm x 深 325 mm 或者 600 mm)
配有蓋子的圓形鋁材,或者配有鉸鏈的門
(大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm)
配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP),或者配有鉸鏈的門
(大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm)
配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP),或者配有鉸鏈的門
(大約Φ 130 mm, 長 300 mm 或者長 600 mm)
電極
單層或多層
RIE
樣品支架
(選項:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃
氣源
針型閥
質(zhì)量流量控制器 (MFCs)
壓力計
Pirani
Baratron(適用于腐蝕性氣體版本)
計時器
數(shù)字型
高頻電流發(fā)生器
40 kHz: 功率 0 - 200 W;0 -1000 W
13.56 MHz: 功率 0 - 50 W;0 - 100 W;0 - 300 W
2.45 GHz: 功率 0 - 300 W
所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級可調(diào)型
真空泵
KASHIYAMA
電源
臺式設(shè)備為 230 V,立式設(shè)備為 400 V/3 相位