| 分辨率（Resolution） | 15nm (30kV, SE Image) |
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| 放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
| 加速電壓（Accelerating Voltage） | 5kV to 3kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step) |
| 圖像檢測 （Signal Detection）` | 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
| 背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image |
| * Multi Detector (SEI+BSEI) |
| 觀察模式 Observation mode | Standard Mode |
| Charge-up reduction mode |
| 電子槍系統（Electron Gun） |
| 燈絲類型（Filament type） | 預對中鎢燈絲（Pre Centered tungsten filament Cartridge） |
| 偏壓系統（Bias voltage system） | 自動偏壓方式（Automatic mode） |
| 電子槍校正 （Electron gun alignment） | 手動方式（Manual mode） |
| 透鏡構成（Lens system） |
| 聚光鏡（Focus Lens） | 2段式磁線圈透鏡 (2-stage Electromagnetic Condenser Lens) |
| 物鏡（Objective Lens） | 1段式磁線圈透鏡(1-stage Electromagnetic Objective Lens) |
| 探測器類型(Detector type) | SE Detector/ BSE Detector |
| 載物臺系統( Stage System) | Auto or Mauanl |
| 載物臺移動（Stage Traverse） | 3軸操控3 axis System， X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360° |
| Image shift | Image shift X, Y Image Shift (±150um) |
| 樣品尺寸 （Max Sample size） | 高度30mm時直徑70mm，70mm in diameter, 30mm in height |
| 圖像掃描 （Image Scanning system） | 快速描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.) |
| 低速描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.) |
| 圖片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.) |
| 圖片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.) 3(Photo Mode 2): 5120x3840 (Scan time: 120sec.) |
| 自動功能 （Automatic Function） | 自動啟動(Auto start)，自動聚焦(Auto focus)，自動亮度對比度調節(Auto Brightness/Contrast) |
| 圖像存儲格式(Image format) | BMP, JPEG, PNG,TIFF |
| 數據顯示(Data display) | 放大倍率(Magnification)，探測器類型(Detector type)，電壓(Accelerating Voltage)，真空模式(Vacuum mode)，Logo(Text)， Date ａnd time，Text marker，比例尺(scale bar) 等 |
| 真空系統（Vacuum system） | 全自動型/高真空模式+低真空模式(Fully Automatic Multi mode) （旋轉式機械泵）Rotary Pump/100Liters/min （渦輪式分子泵） Turbo Molecular Pump/ 70Liters/sec 抽真空時間(pump down time)：2分鐘以內 (less than 2 minutes) |
| 操控系統(Control unit system) | 鼠標和鍵盤(Mouse ,Keyboard) |
| | PC：臺式電腦（Desk Top） OS : Microsoft Window 7 CPU : Intel CoreTM i5 or High version Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version USB 2.0 |
滬公網安備31011502016460號
