FEI掃描電子顯微鏡Inspect S50技術(shù)參數(shù)
1.電子槍?zhuān)焊吡炼取⒎奖憔S護(hù)的鎢燈絲電子槍
2.分辨率:
二次電子:
(1)高真空模式 3.0nm @ 30kV; 8nm @ 3kV
(2)高真空減速模式 7nm @ 3kV (可選項(xiàng))
(3)低真空模式 3.0nm @ 30kV; 10nm @ 3kV
FEI掃描電子顯微鏡Inspect S50背散射電子:
(1)4.0nm @ 30kV
3.加速電壓:200 V - 30 kV, 連續(xù)可調(diào)
4.探測(cè)器:E-T二次電子探測(cè)器,可選背散射探測(cè)器
5. 50x50mm 4軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)全對(duì)中樣品臺(tái)
FEI掃描電子顯微鏡Inspect S50主要特點(diǎn)
1.分子泵真空系統(tǒng)
2.高穩(wěn)定性、高亮度鎢燈絲電子槍?zhuān)瑵M(mǎn)足高分辨觀(guān)察和微觀(guān)分析的要求
3.FEI獨(dú)特的LFD低真空二次電子探測(cè)器
4.可同時(shí)安裝能譜儀、波譜儀和EBSP系統(tǒng)
5.基于Windows XP的圖形用戶(hù)界面, 簡(jiǎn)單易用