EMPro是針對高端研發和質量控制領域推出的極致型多入射角激光橢偏儀。
EMPro可在單入射角度或多入射角度下進行高精度、高準確性測量??捎糜跍y量單層或多層納米薄膜樣品的膜層厚度、折射率n和消光系數k;也可用于同時測量塊狀材料的折射率n和消光系數k;亦可用于實時測量快速變化的納米薄膜動態生長中膜層的厚度、折射率n和消光系數k。多入射角度設計實現了納米薄膜的絕對厚度測量。
EMPro采用了量拓科技多項技術。
特點:
原子層量***的極高靈敏度
百毫秒量***的快速測量
簡單方便的儀器操作
應用: