SGC-2 自動橢圓偏振測厚儀
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產(chǎn) 地:更新時間:2021-01-18 16:45
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SGC-2 自動橢圓偏振測厚儀
儀器介紹:
橢圓偏振法測量的原理很早就已提出,相應的測試方法和設備也不斷地被改進和創(chuàng)新,使得橢圓偏振法成為重要的測試手段,并廣泛地應用在光學、材料、生物、醫(yī)學等各個領域。其中測量薄膜材料的厚度、折射率和消光系數(shù)是橢圓偏振法*基本、*重要的應用 。
儀器特點:
●儀器采用消光式橢圓偏振方式測量
●精度高、自動控制
●光源采用氦氖激光,波長精度高
●儀器采用USB接口與電腦連接
●配套軟件對采樣數(shù)據(jù)具有多種處理方式,適用于不同需要
●軟件有完整版及學生版兩種版本,適于教學要求
技術指標:
編號 | 名稱 | 參數(shù) |
1 | 測量范圍 | 1nm~4000nm |
2 | 測量*小值 | ≤1nm |
3 | 鍍膜折射率范圍 | 1.300~10.000 |
4 | 入射角 | 40°~90° 誤差≤0.05° |
5 | 偏振器方位角讀數(shù)范圍 | 0°~180° |
6 | 偏振器步進角 | 0.0375°/步 |
7 | 測量精度 | ±0.5nm(10nm,±0.5nm) |
8 | 光學中心高度 | 75mm |
9 | 工作臺直徑 | φ10mm~φ120mm |
10 | 厚度 | ≤10mm |