l 真正意義上的雙頻激光干涉儀,頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區別,眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩定。世界范圍內只有兩***雙頻激光干涉儀的生產商,德***耶拿爾公司是其中的******。
l 全部部件皆在德***生產制造,絕非為了降低成本而在第三方******進行部件加工。光學組件全部采用蔡司光學鏡,是世界上******將的蔡司光學鏡用于激光干涉儀領域的產品制造商。
l 激光器壽命更長,可達20000小時,激光穩頻精度高,***小時內為±0.002ppm,在產品壽命內可達±0.02ppm。
l 干涉鏡采用差分干涉原理,系統精度更高,可達±0.4ppm。
l 計算機輔助光路調整,調整結果更準確。
l 采樣頻率更快,達1MHz,可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。
l 被測物體速度16m/s(可選);采用高精度AE950 PCI數據處理器,分辨率達0.6nm(當移動速度為1m/s時,線性分辨率更可高達為0.1nm)。
l 無加速度限制;當光線微弱時,性能也十分穩定。
l 信號延時<200ns;對電磁干擾不敏感。
l 對于多軸聯動的復雜光路測量和微位移測量,ZLM800型是理想的選擇。