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高精度非接觸三維掃描儀WAVESPEED 1010

高速非接觸雙測頭三維微觀輪廓形貌掃描測量；
測量范圍: X =100mm, Y =100mm, Z=100mm；
分辨率: X : 0.5µm, Y : 0.5µm；
三維表面形貌測量（激光三角波傳感器）；
垂直量程Z : 10mm, 分辨率: 1µm；
三維粗糙度測量（白光共焦法光學傳感器）；
垂直量程Z : 300µm, 分辨率: 0.01µm；
高速非接觸雙測頭三維微觀輪廓形貌掃描測量；
測量范圍: X =100mm, Y =100mm, Z=100mm；
分辨率: X : 0.5µm, Y : 0.5µm；
三維表面形貌測量（激光三角波傳感器）；
垂直量程Z : 10mm, 分辨率: 1µm；
三維粗糙度測量（白光共焦法光學傳感器）；
垂直量程Z : 300µm, 分辨率: 0.01µm；