URE-2000/600 紫外單面光刻機(jī)
1、設(shè)備主要技術(shù)指標(biāo)：
(1)光束口徑： 650mm×650mm
(2)有效曝光面積：600mm×600mm
(3)分辨力：≤3μm
(4)對準(zhǔn)精度： ±1.5μm
(5)對準(zhǔn)顯微鏡中心距：75mm-600mm 可調(diào)
(6)掩模尺寸：650mm×650mm
(7)樣片尺寸：可適應(yīng)Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm×600mm，厚度為 0.2mm～20mm 的多種規(guī)格樣片；
(8)光源不均勻性：≥ 95%（Ф600mm）
(9)掩模相對于樣片運(yùn)動行程：X: ± 15mm; Y: ± 15mm; Z：15mm Thelta: ± 10º
(10)曝光面光強(qiáng)：>15mW/cm2（i、g、h 線）
(11)汞燈功率：2500W（直流）
(12)曝光量設(shè)定方式：定時(shí)（***方式 0.1s-9999.9s,設(shè)定精度 0.1s）
2．技術(shù)主要組成部分
大面積精細(xì)膠模圖形結(jié)構(gòu)成型機(jī)組成主要由：高均勻照明曝光系統(tǒng)、對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)、CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)、氣動控制系統(tǒng)及輔助設(shè)備構(gòu)成。各系統(tǒng)構(gòu)成與配置
如下:
（1）高均勻照明系統(tǒng)包括：
。 冷光橢球鏡；
。2500W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德***歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺；
。 光學(xué)系統(tǒng)：橢球反射鏡、光欄、快門、平面冷光反射鏡 1、平面冷光反射鏡 2、蠅眼透鏡組、拋物面冷光反射鏡；
。 冷卻風(fēng)扇；
。 循環(huán)水冷系統(tǒng)。
（2）對準(zhǔn)工件臺系統(tǒng)包括：
。掩模樣片相對運(yùn)動臺；
。 轉(zhuǎn)動臺；
。 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動完成；
。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，自動調(diào)整；
。承片臺 10 個(gè)：Ф300mm、Ф450mm、Ф600mm 及 300mm×300mm；450mm×450mm；600mm×600mm；
。 掩模夾 1 個(gè)：650mm×650mm；
。 抽拉式上下片機(jī)構(gòu)。
（3）CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)包括：
。 光源、電源；
。 顯微鏡工作臺；
。 成像光學(xué)系統(tǒng)（兩套）；
。 數(shù)據(jù)采集卡；
。 CCD 圖像處理部件（兩套）。
（4）電控系統(tǒng)包括：
。 大功率汞燈觸發(fā)電源；
。單片機(jī)控制系統(tǒng)；
。 薄膜開關(guān)面板；
。 控制柜桌；
（5）氣動系統(tǒng)包括：
。 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等；
3 。電磁閥驅(qū)動部件；
。 氣動顯示儀表。
（6）其他配套附件
。 真空泵***臺（無油泵、SK-65C 型）；
。 空壓機(jī)***臺（靜音型、YB-W30 型）；
。水冷機(jī)***臺（H35W 型）；
。 配套接口管道
3.相關(guān)技術(shù)資料：
。設(shè)備使用及維護(hù)說明書
。出廠檢驗(yàn)合格證。
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
