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商品編號(hào)：89852

價(jià) 格：詢價(jià)

產(chǎn) 地：更新時(shí)間：2021-04-30 11:47

品牌：其他型號(hào)：ET150

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日本進(jìn)口Kosaka臺(tái)階儀ET150粗糙度輪廓儀特點(diǎn)：

二次元表面解析，可測量段差

高精度、高分辨率和良好的再現(xiàn)性

FPD面板顯示，可測定微細(xì)表面形狀、段差、粗度等

低測定力，可測定軟質(zhì)材料

主要應(yīng)用：
前制程機(jī)臺(tái)（如曝光機(jī)、濺鍍機(jī)、蝕刻機(jī)）best recipe 找尋。例如：PVD、CVD、DLC真空濺鍍薄膜臺(tái)階、應(yīng)力測試及軟質(zhì)光阻材料等薄膜臺(tái)階測量。

日本進(jìn)口Kosaka臺(tái)階儀ET150粗糙度輪廓儀技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)		ET150
樣品尺寸		φ160x48mm
樣品臺(tái)	尺寸	φ160
	傾斜度	±2°（X,Y手動(dòng)）
	承重	2Kg
檢出器	觸針力	10μN(yùn)-500μN(yùn)（1mg-50mg）
	范圍	600μm（0.1nm分辨率）
	驅(qū)動(dòng)	直動(dòng)式（差動(dòng)變壓器）
	觸針	R2μm 頂角60°
X軸	測長	100mm
	直線度	0.02μm/100mm
	速度	0.005-20mm/s
	重復(fù)性	±5μm（定位）
Y軸	測長	25mm/手動(dòng)
Z軸	測長	50mm
放大倍數(shù)	垂直	50-2000000
放大倍數(shù)	水平	1-10000
監(jiān)控系統(tǒng)	攝像裝置	1/3 inch CCD
	監(jiān)視裝置	視頻捕捉板
	移動(dòng)方法	手動(dòng)
輔助功能		教學(xué)、機(jī)動(dòng)傾斜、傾斜度分析、檢出器自動(dòng)停止功能等
應(yīng)用		成像、臺(tái)階、粗糙度、波紋度和傾斜度
重復(fù)性		1σ1nm
電源		AC90-240V 50/60Hz 300VA
外觀尺寸		W500xD440xH630mm 120Kg（不含防震臺(tái)）

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