太陽能電池測試探針臺參數規格
規格如下：
chuck（卡盤）
*尺寸：4英寸，圓形（方形可選）
*材質：不繡鋼（可升***鍍金）
*旋轉角度：0-360°可帶角度鎖定，精度0.1
*X-Y移動行程：4" x4"
*移動精度：10um（可升***為1um精度）
*平坦度：10um
*吸附孔：中心孔徑*小可做到250微米，*小可以吸住尺寸為0.3mmX0.3mm，能夠吸住尺寸為4"X4"
太陽能電池測試探針臺配件
1、CB-40-T
2.0um探針座
*X-Y-Z移動行程：12 x 12 x 12mm
*移動精度：2 微米
*移動方式:線性移動/無后座力移動
*絲杠精度：80 Thread / Inch
*I/O Pad 點測
*固定方式：磁力翻轉，帶磁性開關
*尺寸：52寬 x 96長 x 76mm高
*重量：350 克
2、CB-GZ-100
管狀夾具
固定方式
通過內銅管固定探針
外銅管屏蔽雜訊干擾，內外銅管之間是絕緣層?？梢赃x擇后端連接普通線纜同軸線纜或者三軸線纜。
漏電精度
mA***：
接普通PVC線纜+香蕉頭
10pA***：
接同軸線纜+BNC接頭
100fA***：
接三軸線纜+Trixial接頭（需配合屏蔽箱）
3、美***GGB探針
型號 | 針尖直徑 | 針桿直徑 | 針長 | 材質 | 根/盒 |
軟針類:適用于集成電路內部線路點針 
|
T-4-5 | 0.2 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質 | 5 |
0.2微米直徑的針須焊接于鎳質針桿上 | |
T-4-10 | 0.7 微米 | 0.51mm | 51mm | 硬鎢材質 | 5 |
0.7 微米針須焊接于鎳質針桿上 | |
硬針類:適用于集成電路電極點針 
|
ST-20-0.5 | 1 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質 | 10 |
ST-20-1.0 | 2 微米 | 0.51mm | 38mm | 硬鎢材質 | 10 |
ST-20-2.0 | 5 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質 | 10 |
ST-20-5.0 | 10 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質 | 10 |
ST-20-10 | 20 微米 | 0.51mm | 38mm/20mm | 硬鎢/鈹銅材質 | 10 |
4、 名稱：屏蔽箱/黑箱
?屏蔽光及EMI各類干擾信號，使量測精度更高
?尺寸可以定制
整體精度：1UM
5、防震桌
特點：隔振支撐采用超薄復合材料氣囊、自定心準無摩擦球頭擺桿和帶附加擴散口的多小孔準層流阻尼技術，隔振性能良好。自動水平，自動充氣，全部氣動執行元件采用德***FEST0產品，靜音空氣壓縮機氣源、噪聲低。
應用范圍：適用于對振動要求高的場所。 如光電測量、全息成像、光柵制作等。輕松 調節,結構穩定可靠。
技術參數：
臺面為三層夾心蜂窩狀支撐結構，采用ICR17優質高導磁不銹鋼
平臺表面粗糙度0.5?0.6 um
平面度0.02 ~ 0.05 mm/m2
固有頻率1.5 ~2 Hz
振幅小于1 um
重復定位精度±0.10 mm
工作壓力0.2~0.6(Mpa)
具體尺寸可根據客戶需求定制
6、真空泵
日東工器VP0125
規格：
l 電壓：AC220V
l 流量：7L/min
l 真空度：-60KPa
l 質量：0.7Kg
功能
l 提供真空動力源。
l 配合 CHUCK上的真空吸附孔來固定樣品。
l 配合真空吸附型探針座，固定探針座。
特點
● 無油靜音，特別適合實驗室和潔凈室使用。
● 7升/分鐘，可24小時無間斷運轉。
探針臺的使用方法
1、 將樣品載入真空卡盤，開啟真空閥門控制開關，使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。
2、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺，在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品。
3、 使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下。
4、 顯微鏡切換為高倍率物鏡，在大倍率下找到待測點，再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y，將影像調節清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
5、 待測點位置確認好后,再調節探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢，以防動作過大誤傷芯片，當探針針尖懸空于被測點上空時，可先用Y軸旋鈕將探針退后少許，再使用Z軸旋鈕進行下針，*后則使用X軸旋鈕左右滑動，觀察是否有少許劃痕，證明是否已經接觸。
6、 確保針尖和被測點接觸良好后，則可以通過連接的測試設備開始測試。
滬公網安備31011502016460號
