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FMA5542A_FMA5543_FMA5545_FMA5402A_FMA5404A_FMA5406A氣體質量控制器OMEGA

NIST可追溯校準

讀取和控制氣體質量流量而無需溫度或壓力補償

可提供經濟型鋁制或耐腐蝕316 SS版本

可傾斜LCD顯示屏，便于讀取

FMA5542A_FMA5543_FMA5545_FMA5402A_FMA5404A_FMA5406A氣體質量控制器OMEGA

產品規格

精度:對于滿量程小于100 SLM ±1% FS的裝置，在15~25°C（59~77°F）和

0.7~4.2 kg/cm2（10~60 psia）下具有線性度。對于≥100 SLM的裝置，滿量程：±1.5% FS，在15~25°C（59~77°F）和 0.7~4.2 kg/cm2（10~60 psia）下在20~100%的范圍內具有線性度；在0~20%的范圍內為±3% FS。

重復性：＆plusmn; 0.5％滿量程

溫度系數：0.15% FS/°C

壓力系數：每psi 0.01％FS（0.07 bar）

最大壓降：50 psid

響應時間：在25％~100％FS范圍內，5秒處于設定流量的±2%范圍內

最大氣壓：70 kg/cm2表壓（1000 psig）（適用于最高100 SLM的裝置）； 35 kg/cm2表壓（500 psig）；最佳1.76 kg/cm（25 psig）

氣體和環境溫度：5~50°C（41~122°F）

泄露率：對外界環境的最大泄漏率為1×10-7cc/sec氦氣

接液材質：

鋁制流量計：陽極氧化鋁，316 SS，黃銅和FKM O形圈

不銹鋼型號：316 SS 和 FKM O型圈

輸出信號：

線性0~5 Vdc：1000 Ω最小負載

4~20 mA：50~500 Ω 環路電阻，±20 mV 最大噪聲

傳感器電源：12~26 Vdc @ 800 mA 標準量程比：40:1

裝運重量：1.8 kg (4 lb)

合規性：EN55011 1類，B類；EN50082-1

海拔靈敏度：水平流徑，傾斜到20°，校準也不會發生偏移

氣體相對濕度:0~70% RH

最小壓降

FMA5542A_FMA5543_FMA5545_FMA5402A_FMA5404A_FMA5406A氣體質量控制器OMEGA

FMA5400A/5500A系列電子氣體質量流量計可控制0~10 SCCM范圍內高達100 SLM的多種氣體的流量。FMA5400A/5500A利用通過加熱管進行的熱傳遞測量氣體流量，可提供直接的氣體質量流量測量值，并且無需對（規定限值以內的）氣體溫度或壓力進行補償。 該產品可提供經濟型鋁／銅結構，適合測量普通氣體流量，同時可提供316不銹鋼結構，適合有更高耐腐蝕要求的應用。不帶***體式顯示屏的FMA5400A系列流量計具有0 ~ -5Vdc和4 ~ 20 mA模擬量輸出，以便進行遠程監測；FMA5500A系列流量計兼具***體式3-1/2位數字顯示屏和模擬量輸出。顯示屏可傾斜90度，查看讀數方便。顯示屏經過校準，可直接顯示以SCCM或SLM為單位的氮氣流量（您可以通過專門訂購來獲得其它氣體校準）。

FMA5400A/5500A質量流量控制器具有內置常閉電磁閥，無論入口壓力或出口壓力如何變化，都能保持流量恒定。設定值可通過電位計（電位計可通過外殼中的訪問窗口訪問）進行本地控制，也可通過0-5 Vdc或4~20 mA模擬信號（現場可選）遠程控制。FMA5400A/5500A系列需要使用12~26Vdc電源（***大電流800 mA），FMA545PW墻壁插入式插座電源可滿足其要求。12~15 Vdc功率@ 800 mA***大值（***43、44、45的規格）。型號為FMA545C（單獨提供）的配件提供配接式15針""D""型連接器，帶8英尺屏蔽電纜用于訪問模擬輸出信號和電源輸入連接。FMA5500A系列配備的LCD通過通訊插頭與下面的電子設備相連。通過購買FMA18RC遠程電纜組件可以遠程安裝LCD，之后，您必須自行組裝組件以便進行LCD的面板安裝。

OMEGA FMA系列質量流量計