超高分辨熱場發射掃描電子顯微鏡
上海非利加實業有限公司
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儀器簡介:
JSM-7600F是日本電子株式會社2008年下半年推出的兼顧冷場的高分辨率和熱場大束流為***體的熱場發射掃描電鏡,它幾乎集成了當今掃描電鏡的全部前沿技術,200nA的大電流在保證高分辨率的同時,得到高速樣品分析結果,空間分辨率極高,對導電性差的樣品也有很多解決辦法。JSM-7600F自動化程度高,操作直觀方便,可以稱得上是***款***次的場發射掃描電鏡。詳情請咨詢日本電子株式會社各地事務所。
技術參數:
1.分辨率:1.0nm(15kV)/1.3nm(1kV)
2.加速電壓:0.1KV-30kV
3.放大倍數:25-100萬倍
4.樣品室尺寸:200mm直徑樣品
5.束流強度:1pA到200nA
主要特點:
長壽命高亮度電子槍,壽命保3年,電流400nA以上
兼顧超高分辨和大電流
無漏磁和半漏磁物鏡可切換
標配的五軸馬達驅動全對中樣品臺
全自動樣品更換氣鎖
全自動樣品臺監控系統
全自動物鏡光闌
多通道顯示系統
減速系統標準配置
能量過濾器標準配置
可以選配1.5nm高分辨LABE背散射電子探頭
可以選配掃描投射探頭(STEM)