TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統(tǒng)
基于高分辨率肖特基FEG-SEM鏡筒和高性能聚焦離子束鏡筒，LYRA3 FIB-SEM是***款SEM與FIB良好結(jié)合的***體化系統(tǒng)，能夠滿足高要求客戶的需要。
新***代場發(fā)射掃描電子顯微鏡（LYRA3）給用戶帶來了新的技術(shù)優(yōu)點，包括改進(jìn)的高性能電子設(shè)備使成像速度更快，包含了靜態(tài)和動態(tài)圖像扭曲補(bǔ)償技術(shù)的超快掃描系統(tǒng)，內(nèi)置的編程軟件等，都使LYRA3保持著很高的性價比。
LYRA3系列的設(shè)計適用于各種各樣的SEM應(yīng)用及當(dāng)今研究和工業(yè)的需求。大電子束流下的高分辨率有利于EDX、WDX、EBSD、3維斷層掃描等分析應(yīng)用。借助于高性能軟件，TESCAN的FIB-SEM已成為適合電子束/離子束光刻、TEM樣品制備等應(yīng)用的強(qiáng)大工具。LYRA3聚焦離子束掃描電子顯微鏡配備了XM與GM兩種樣品室。
現(xiàn)代電子光路
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獨(dú)特的大視野光路設(shè)計提供各種工作與顯示模式
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以電磁的方式改變物鏡光闌——中間鏡的作用如同“光闌轉(zhuǎn)換器”
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結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™），可模擬和優(yōu)化電子束
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全自動鏡筒設(shè)置與對中
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成像速度很快
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3維電子束技術(shù)提供實時立體圖像
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可選的電子束遮沒裝置提供了電子束光刻技術(shù)
高性能離子光路
聚焦離子束裝置
維修簡單
只需要很短的停機(jī)檢修時間，就能使得電鏡長期保持在優(yōu)化的狀態(tài)。每個細(xì)節(jié)設(shè)計得非常仔細(xì)，使得儀器的效率化，操作*簡化。
自動程序
自動設(shè)置和許多其他的自動化操作是設(shè)備的特點。除此之外，電鏡還有樣品臺自動導(dǎo)航與自動分析 程序，能明顯減少操作員的操作時間。通過內(nèi)置腳本語言 （Python）可進(jìn)入操作軟件的大多數(shù)功能，包括顯微鏡控制、樣品臺控制、圖像采集、處理與分析。通過腳本語言用戶還可以編程其自己的自動操作程序。
用戶界面友好的軟件與軟件工具
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多用戶和多語言操作界面
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圖像管理與報告生成
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內(nèi)置的系統(tǒng)檢查與系統(tǒng)診斷
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網(wǎng)絡(luò)操作與遠(yuǎn)程進(jìn)入/診斷
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模塊化的軟件結(jié)構(gòu)
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標(biāo)準(zhǔn)的軟件模塊包括：自動離子束控制、電子束寫入基本版、同時的FIB/SEM成像、預(yù)定義FIB工作模式等軟件工具
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可選軟件包括了：顆粒度分析標(biāo)準(zhǔn)版/專***版、3維表面重建等模塊
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電子束寫入軟件使聚焦離子束掃描電子顯微鏡成為能進(jìn)行電子束曝光、電子束沉積、電子束刻蝕、離子束沉積、離子束減薄的強(qiáng)大工具
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可選的3D Tomography軟件提供使用FIB時的全自動連續(xù)SEM圖像，三維重構(gòu)與三維可視化
TESCAN LYRA3鎵等離子雙束FIB系統(tǒng)（GM）
分析潛力
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高亮度肖特基發(fā)射可獲取高分辨率、高電流和低噪聲的圖像
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可選配超高分辨率的In-Beam二次電子探頭
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獨(dú)特的三透鏡大視野觀察（Wide Field Optics™）設(shè)計提供了多種工作模式和顯示模式，體現(xiàn)了TESCAN特有可優(yōu)化電子束光闌的中間鏡設(shè)計
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結(jié)合了完善的電子光學(xué)設(shè)計軟件的實時電子束追蹤（In-Flight Beam Tracing™）可模擬和進(jìn)行束斑優(yōu)化
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成像速度快
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低電壓下的電子束減速模式（Beam Deceleration Technology – BDT），可獲得高分辨率（選配）
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In-Beam背散射電子探頭提供小工作距離下的BSE圖像（選配），甚至適合鐵磁性樣品的分析
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全計算機(jī)化優(yōu)中心電動載臺設(shè)計優(yōu)化了樣品操控
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完美的幾何設(shè)計更適合安裝能譜儀（EDX）、波譜儀（WDX）、背散射電子衍射儀（EBSD）
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由于使用了強(qiáng)力的渦淪分子泵和無油干式真空泵，因而可以快速簡單的得到干凈的真空樣品室。電子槍的真空由離子泵維持。
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全自動設(shè)置的顯微鏡包括了電子光路設(shè)置和合軸功能
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網(wǎng)絡(luò)操作和內(nèi)置遠(yuǎn)程控制/診斷軟件為標(biāo)配
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3維電子束技術(shù)提供了實時立體圖像
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在低真空模式下樣品室真空可達(dá)到500Pa，用于觀測不導(dǎo)電樣品
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獨(dú)特的離子差異泵（2個離子泵）使得離子散射效應(yīng)非常低
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聚焦離子束鏡筒內(nèi)有馬達(dá)驅(qū)動高重復(fù)性光闌轉(zhuǎn)換器
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聚焦離子束的標(biāo)配包括了電子束遮沒裝置和法拉第筒
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在高束流下，選配的Cobra聚焦離子束提供了超高的分辨率和卓越的性能
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FIB切割、信號采集、3維重構(gòu)（斷層攝影術(shù)），3D EBSD、3D EBIC與集成3維可視化
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成熟的SEM/FIB/GIS操作軟件，圖片的獲取、存檔、處理和分析功能
LYRA3配置
LYRA3 GMH
裝有馬達(dá)驅(qū)動全計算機(jī)化優(yōu)中心樣品臺的超大樣品室電鏡，適用于在高真空模式下對導(dǎo)電樣品的分析。
LYRA3 GMU
可變真空式SEM，體現(xiàn)了高真空模式和低真空模式的優(yōu)點。在低真空模式下可以觀測不導(dǎo)電的樣品，不需要噴金。
軟件（標(biāo)配）：
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測量
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圖象處理
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3維掃描
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硬度測量
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多圖像校準(zhǔn)
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對象區(qū)域
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自動關(guān)機(jī)時間
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公差
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編程軟件
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定位
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投影面積
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EasySEMTM
軟件（選配）：
根據(jù)實際配置和需求
配件：
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二次電子探頭
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背散射電子探頭
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In-Beam SE
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In-Beam BSE
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探針電流測量
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壓差式防碰撞報警裝置
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可觀察樣品室內(nèi)部的紅外線攝像頭
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TOP-SIMS
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二次離子探頭
等，各種配件可供選擇
滬公網(wǎng)安備31011502016460號
