MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器
價 格:詢價
產(chǎn) 地:更新時間:2021-03-30 17:01
品 牌:其他型 號:
狀 態(tài):正常點擊量:2570
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MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器 性能
可用量程:大0-5000 slpm;小0-10 sccm(欲了解常備量程,請參見零件編號標(biāo)簽)
可調(diào)比:50:1
校準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±2%滿量程
可重復(fù)性:0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時間常數(shù):50-100ms
無需預(yù)熱時間
產(chǎn)品參數(shù)
MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器 工作條件
兼容氣體:98(MC系列)或130(MCS系列)種預(yù)置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度:-10°C至+60°C
大內(nèi)部壓力(靜態(tài)):305 psig(320 psia)
耐受壓力:400 psig(415 psia)
STP/NTP:用戶可選(默認(rèn)為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)